Als geen ander ervaart NTS de turbulentie van sourcen aan ASML. Het trok de ontwikkeling en productie naar zich toe van het source support frame, een onderdeel dat een tonnen wegende EUV-bron moet stabiliseren bij de productie van chips. Flexibiliteit is daarbij een vereiste. Regelmatig tikt ASML de engineers van NTS op de schouders. ‘Sorry, het moet toch weer net even anders.’
De NTS-Group is in haar capaciteit als systeemengineer één van de pioniers in het integreren van haar ontwikkelkracht in de productie van ASML. Het gaat in eerste instantie om het werk aan een source support frame. Deze module maakt onderdeel uit van een lithografiemachine die gebruik maakt van extreem ultraviolet licht (EUV).
Het ondersteunt de EUV-bron en koppelt deze met de projectiekamer van de EUVscanner.
De ontwikkeling van dit frame is complex. Het moet in het ideale geval drie verschillende bronnen ondersteunen - Cymer, Ushio en Gigaphoton - en trillingen dempen die uit de lithographiemachine kunnen komen of via de fabrieksvloer. Toch is het niet zozeer de techniek maar de dynamiek die het tot een uitdagend project maakt. Afhankelijk van de ontwikkelingen
in de sources tikt ASML NTS op de schouders en zegt dat het anders moet. En drie maanden later moet het toch wéér net even anders. Daarmee ervaart NTS de dynamiek van ASML’s ontwikkeltrajecten volop.
Vertrouwen
Met de Farm Out geeft ASML het vertrouwen aan de NTS-Group als single sourceleverancier.
‘Als er voldoende vertrouwen is, de prijsstelling goed is en de business goed in elkaar zit, dan kan NTS leveren’, aldus Eric Slakhorst, die verantwoordelijk is voor procurement in het mechatronica domein bij ASML. In dit kader vindt ASML NTS’ keuze voor samenwerking met MI Partners een goede. MI Partners, waarin NTS een belang heeft, heeft als specialist in de voorontwikkeling van high end mechatronische applicaties de kennis en ervaring om vanaf de eerste stadia bij te dragen aan de realisatie van een goed concept. De ingenieurs van NTS Systems Development richten zich vervolgens op het vormgeven van alle details.
Schaal
Om de EUV-bron op zijn plaats te houden, is een precisie vereist die net iets minder stringent is dan voor wafer stages. De kennis die nodig is voor het support-frame van een EUV-machine ligt dan ook ruimschoots binnen de competenties van NTS. ‘Toch liggen er uitdagingen op het gebied van kinematica, stijfheidsberekeningen en de invloed van temperatuur, ‘stelt Eric Hezemans, Directeur van NTS Systems Development. ‘Je stopt een paar megawatt aan energie in de source om er uiteindelijk maar een paar watt aan licht uit te krijgen.
De rest van de energie moet ergens blijven, en wordt omgezet in warmte. Dus moeten we koelen. Er hangen daardoor enorme slangen en kabels aan de machine die aan het systeem trekken.
Bovendien staat de vloer altijd iets te trillen. Als je bovendien bedenkt dat het gaat om een bron die in het uiterste geval zeven ton weegt en twee bij drie meter meet, dan is al met al nauwkeurigheid voor een source support frame belangrijker dan je in eerste instantie zou vermoeden.’
Kunstje
NTS focust zich op zeer nauwkeurig transporteren, handlen en positioneren in de optomechatronica. Het zet haar kennis in, in de halfgeleidersector en aanpalende markten als solar, leds, displays, de printindustrie en de medische wereld. Het bedrijf concentreert zich op elementen die voor een OEM bijna nooit de kern van hun machine vormen, zo ook wafer stages. Bij ASML worden echter zulke hoge eisen aan doorvoer en nanometerprecisie gesteld dat ASML graag deze strategische technologie in eigen hand wil houden. Echter wat uitbesteed kan worden besteedt ASML meer en meer op moduleniveau uit.
Hezemans: ‘Ons NTS doel is echter niet een assortiment van standaard stages te maken die van de plank te kopen zijn. Het gaat in wezen om kennis over bewegen in vacuüm, relevante metrologie, stijfheidsberekeningen en kinematica. We denken niet in producten, maar in het opdoen van ervaring om die weer voor andere projecten en markten te kunnen inzetten. Bij nieuwe vragen rondom transport, handling en positionering kunnen we zo sneller risico’s overzien. We verdienen geen geld als we telkens nieuwe dingen moeten ontdekken, maar wel als we steeds hetzelfde kunstje op een andere manier, of in een andere markt, kunnen uitvoeren. In die zin is ons werk aan de source support frame voor ASML voor ons absoluut van groot belang.’